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小型离子溅射仪报价

  • 型   号:YBT3-SD-3000
  • 价   格:35000

小型离子溅射仪报价型号YBT3-SD-3000库号:M250167
原理:

依据二极(DC)直流溅射原理。溅射电流调整控制器、微型真空气阀在工作时结合内部自

动控制电路控制真 空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体。根据电场中气体电离

te 性,采用da 容量样品溅射真 空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层均 匀 纯 净。

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小型离子溅射仪报价
型离子溅射仪报价号:YBT3-SD-3000

库号:M250167   


原理:
依据二极(DC)直流溅射原理。溅射电流调整控制器、微型真空气阀在工作时结合内部自
动控制电路控制真 空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体。根据电场中气体电离
te 性,采用da 容量样品溅射真 空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层均 匀 纯 净。
参数:
 主机规格:340mm×390mm×300mm(W×D×H)
 靶(上部电极):金:50mm×0.1mm(D×H)
 靶材:Au(标配)
 样品室:硼硅酸盐玻璃 160mm×120mm(D×H)
 靶材尺寸:Ф 50mm
 真空指示表: zui 高 真 空度:≤ 4X10-2 mbar
 离子电流表: zui 大 电流:50mA
 定时器: zui 长时间:1-360s
 微型真 空气阀:可连接φ 3mm 软管
 可通入气体: 多种
 zui 高电压: -2800 DCV
 机械泵:标准配置 2L/S(国产 VRD-8)
用途:
适用于电镜实验室的扫描电子显微镜(SEM)样品制备,非导体材料实验电极制作。
特点:

2、可调节溅射电流和真空室压强以控制镀膜的速率和颗粒的大小。
3、SETPLASMA 手动启动按钮可预先设置好压强和溅射电流避免对膜造成不 必 要的损 伤。
4、真 空保护可避免真 空过低造成设备短路。
5、同时可以通过换不同的靶材(金、铂、铱、银、铜等),以达到geng 细颗粒的涂层。
6、通过通入不同的惰性气体以达到纯净的涂层。
7、高压输出涂层牢固,适用于非导体材料实验电极制作。


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