全量程皮拉尼热阴极复合真空计报价

• 型   号：YZ2752-FS
• 价   格：7350

全量程皮拉尼热阴极复合真空计报价
YZ 2752 是热阴极离子规复合皮拉尼热传导规的宽量程真空计，同时兼容传统 ZJ27 离子规管与 ZJ52 热阻规管。本机型采用双路（或单路）数码管显示器，全部参数设置与仪器校准等操作通过前面板四个智*能按键完成

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全量程皮拉尼热阴极复合真空计报价全量程皮拉尼热阴极复合真空计报价 型号:YZ2752-FS库号：M322107   

（耐高温150℃，CF35接口）

YZ 2752 是热阴极离子规复合皮拉尼热传导规的宽量程真空计，同时兼容传统 ZJ27 离子规管与 ZJ52 热阻规管。本机型采用双路（或单路）数码管显示器，全部参数设置与仪器校准等操作通过前面板四个智*能按键完成。四路光隔离控制开关输出、对数模拟电压量输出、远程RS485 通讯传输，以及可选的无线信号传输功能，为工业现场控制提供多种工具。数字滤波与模拟滤波、高保真信号传输、高压信号光隔离、硬软件温度补偿等技术的使用， 使得 YZ 2752 在重复性、稳定性、响应速度、抗干扰等方面有着突-出的优-点。本机型应用于真空镀膜、半导体工艺、光伏晶体、科研教学等领域。

YZ2752 规管组合方式

YZ2752 所有组合插座都是兼容的可插的，软件自适应判断规管种类并工作。

YZ2752-FS 全量程单路测量

测量范围： 1.0E-5 ~ 1.0E+5Pa（大气压）

YZ2752-FD 全量程与半量程双路测量

全量程测量范围： 1.0E-5 ~ 1.0E+5Pa（大气压）

半量程测量范围： 1.0E-1 ~ 1.0E+5Pa（大气压）

YZ2752-GD 热离子规与热阻双路测量

热阻规<3.0Pa 时热离子规灯丝自动启动，保护热阴极灯丝

离子规测量范围：1.0E-5 ~ 1.0Pa

热阻规测量范围：1.0E-1 ~ 1.0E+5Pa（大气压）

技术参数

参数 数值

测量范围 1.0×10 -5 ~1.0×10 +5 Pa (空气， N2)

精度

1.0×10 -5 ~1.0×10 - 4 Pa : ±35%

1.0×10 -4 ~1.0×10 +4 Pa : ±25%

1.0×10 +4 ~1.0×10 +5 Pa : ±50%

重复性

1.0×10 -5 ~1.0×10 +3 Pa : ±5%

1.0×10 +3 ~1.0×10 +5 Pa : ±25%

耐压 1.5×10 +5 Pa

反应时间 < 100 ms

工作环境 -5º C ~ +45º C； 5 ~ 85 %, 不结露

存储环境 -40º C ~ +80º C；5 ~ 90 %, 不结露

信号输出

双行5位LED显示，单位可选Pa、Torr、mBar，四路控制开关指

示

支持 RS485， 9600 bps，Modbus RTU（标配）

支持四（六）路控制开关输出 60VDC 0.5 （选配）

支持模拟量输出+0.0V~+10.0VDC（选配）

支持离子规灯丝外部禁止（选配）

支持PC电脑上位机VAccuRay 3.0控制软件数据采集

供电电源

85 ~ 265VAC，50 ~ 60Hz ，0.5电源；功耗max 35W；

品字插座（ （EARTH 端 端 子 外部务必可 靠接地！）

重量与尺寸

<1Kg (不含电缆与规管)， 100H X 98W X170L mm 3

安装开孔尺寸 91 +0.2 mm × 91 +0.2 mm