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四探针电阻率/方阻测试仪(低阻)

  • 型   号:KDY-1
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四探针电阻率/方阻测试仪(低阻)
A.探头间距1.59㎜
B.探针机械游率:±0.3%
C.探针直径0.8㎜
D.探针材料:碳化钨,探针间及探针与其他部分之间的绝缘电阻大于109欧姆。

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(1)仪器采用GB/T 1552-1995硅、锗单晶电阻率测定直排四探针法
(2)范围:电阻率10-5~10+3欧姆·厘米,分辨率为10-4欧姆·厘米
方块电阻10-4~10+4欧姆/□,小分辨率为10-3欧姆/□
(3)可测量材料:半导体材料硅锗棒、块、片、导电薄膜等
可准确测量的半导体尺寸:直径≥20㎜
可测量的半导体尺寸:直径≥8㎜
(4)测量方式:平面测量。
(5)电压表:双数字电压表,可同时观察电流、电压变化
A.电流表量程0~199.99 mV,电压表量程0~19.999 mV
B.电压灵敏度:1μv和10μv
C.基本误差±(0.004%读数+0.01%满度)
D.输入阻抗﹥1000MΩ
E. 4 1/2位数字显示,0~19999
(6)恒流源:
A.电流输出:直流电流0.003~100 mA连续可调,由交流电源供给
B.量程:10uA,100uA,1 mA,10 mA,100 mA五档
C.恒流源精度:各档均≤±0.05%
(7)四探针测试探头
测量电阻率的小游移探针头,实用号ZL 03 2 74755.1。使用几何尺寸十分的红宝石轴承,量具精度的硬质合金探针,在宝石导孔内运动,持久耐磨,精度高。
A.探头间距1.59㎜    
B.探针机械游率:±0.3%
C.探针直径0.8㎜    
D.探针材料:碳化钨,探针间及探针与其他部分之间的绝缘电阻大于109欧姆。
(8)手动测试架:KDJ-1A 型手动测试架探头上下由手动操作,可以用作断面单晶棒和硅片测试,探针头可上下移动距离:120mm,测试台面200x200(mm)。
(9)精度
电器精度:1-1000欧姆≤0.3 %
整机测量精度:1-500欧姆·厘米≤3%
(10)电流:220V±10%,50HZ,功率消耗﹤35W中西集团
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