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离子溅射仪器仪表(磁控)库号:M363284

  • 型   号:JE3-TZ-1000
  • 价   格:25000

此款TZ-1000型小型磁控离子溅射仪主要用于SEM制样样品镀导电膜(如金膜)或材料镀膜,仪器,操作简单方便。采用磁控冷态溅射,基本不升温,大限度保护样品。
离子溅射仪器仪表(磁控)库号:M363284

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离子溅射仪器仪表(磁控)库号:M363284离子溅射仪器仪表(磁控)库号:M363284

注明:本型号为磁控,与进口的差不多,适合客户放大倍数高,

此款TZ-1000型小型磁控离子溅射仪主要用于SEM制样样品镀导电膜(如金膜)或材料镀膜,仪器,操作简单方便。采用磁控冷态溅射,基本不升温,大限度保护样品。

主要特点:

² 显示操作面为30°斜面,充分考虑操作的便捷和视觉体验,方便观察操作;

² 真空泵连接管路为金属波纹管,美观;

² 微调阀调节灵敏准确,带有刻度标识;

² 真空泵抽速快,噪音低,适合实验室使用;

² 控制电路为控制板,工作稳定;

² 显示控制操作部分布局合理,位于同侧,使用方便;

² 磁控冷态溅射,基本不升温,大限度保护样品;

技术参数:

1.样品室空间:直径120mm×高110mm

2. Pt靶为标配,靶材尺寸:φ50mm×0.1mm

3.独立真空控制电路设计,实现真空度和溅射电流,安互锁,可调大电流40mA;

4.侵入式磁控低温离子源,可快速换靶材,环绕暗区护罩;

5.使用独立计时控制器,计时,可调设置范围:1-500秒,连续可调

6.自动真空泄气功能,自动排气,可通过数字定时器进行控制

7.进口真空泵,抽速8.5m3/h,噪声不大于48dB,可置于抗震台上,金属集成耦合系统

8.微型真空气阀:微量流量阀,精度±0.1Pa



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