质量流量计 库号：M349881

• 型   号：型号:D07-23F OW23F7710
• 价   格：9800

质量流量控制器
型号：D07-23F OW23F7710
NH3 50L/min 0 ℃ 1atm

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质量流量控制器
型号：D07-23F OW23F7710
NH3 50L/min 0 ℃ 1atm

质量流量计 (Mass Flow Meter 缩写为 MFM) 用于对气体的质量流量进行测量；质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环境和真空等多种行业的科研和中有着重要的应用，包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有重复性好、响应速度快、软启动、稳定、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 采用标准接头, 其操作使用方便, 可任*意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。

D07-23F 型质量流量控制器和质量流量计均为 24V 单电源供电，可与D08-1K型流量显示仪配套使用

主要技术指标
表 1. D07-23F 型 MFC 性能指标
编号 项 目 D07-23F 型
1 流量规格 0~20,30,50,100,150,200,250 SLM
2 流量控制范围 2~100 % of F.S.
3 准确度 ±1.5% F.S.
4 线性 ±1% F.S.
5 重复精度 ±0.2% F.S.
6 响应时间 ≤ 3sec
7 工作压差范围
20,30 SLM: (0.05~0.30) MPa (7.3~43.5 psid)
50~150 SLM: (0.10~0.30) MPa (14.5~43.5 psid)
200,250 SLM: (0.15~0.30) MPa (21.8~43.5 psid)
8 大工作压力 1 MPa (145psig)
9 耐压 3 MPa (435.1 psig)
10 温度系数 Zero: ≤ ± 0.1% F.S. /℃; Span: ≤ ± 0.2% F.S. /℃;
11 工作环境温度 5℃ ~ 45℃
12 输入信号 4~20 mA 或 1~5 VDC
13 输出信号 4~20 mA 或 1~5 VDC
14 电源 24VDC 400 mA
15 外形尺寸
16 重量 2.6 kg