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化合物晶体生长炉 德国

  • 型   号:JKY/VGFKronos
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化合物晶体生长炉 德国 型号:JKY/VGFKronos

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化合物晶体生长炉 德国 型号:JKY/VGFKronos

库号:M319259 

VGF Kronos是用于低错位化合物半导体大量生产的VGF(垂直梯度结晶)系统,zui大直径可以达到6英寸。工作压力范围从10-3mbar到40bar,可更换的炉芯使得应用更加灵活。化合物晶体生长炉 德国 型号:JKY/VGFKronos

  VGF Kronos通过优化温度的可重复性保证了zui大的单晶产量,这主要通过温度控制系统的自动重新校准新工艺来实现。同时,可更换炉芯的便捷操作使得通过VGF Kronos晶体生长实现了低成本高产出。

技术参数
  炉子参数: 型号:JKY/VGFKronos
  坩锅直径:zui大4英寸/6英寸
  坩锅圆柱体zui大长度:450 mm
  晶体长度:zui大350 mm
  炉室直径:800 mm
  炉室长度:975 mm
  工作压力:zui大40 bar
水,电,气                型号:JKY/VGFKronos
  电  源:3 AC/PE 400 V ±10%,50 Hz,app.50 KVA
  压缩空气:4-6 bar
  水  压:zui大4 bar
  水 流 量:zui大110 l/min
控制系统 通过PLC/PC实现自动工艺控制

设备尺寸
  高:2900 mm
  宽:1650 mm
  深:1350 mm
设备重量 3500 kg

 
                     
 

 

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