结构介绍

1.面板说明：

左面板：压力显示板。氦气罐压力表与氦气罐相连，即时显示氦气罐内的压力值。氮气罐压力表与氮气罐相连，即时显示氮气罐内的压力值。

右面板：是操作和显示面板（附气路原理图）。液面显示由三个状态显示灯构成，显示氮气罐内下限、正常、上限液位。真空指示表显示系统气路中的真空度。右边部分为检漏装置的工作气路图，可以即时显示各电磁阀在气路中的工作状态。中间部分为膜键盘，可以进行设备的控制操作和保压时间的设定、各电磁阀的启闭、自动化程序的进行及自动与手动操作之间的切换。

2.部件说明

该检漏装置上的两个罐：左罐为氮气罐；右罐为氦气罐。

1、加压罐本底真空度优于50Pa

2、真空测量： 热偶计

3、充气压力： ≤1.0MPa

4、加热温度： 125℃土5℃

5、升温时间：从室温到125℃ ≤30分钟

6、工作电压： 220VDC 50Hz

7、仪器功率： 1.5KW （加热功率：0.4KW）

8、照明灯： 12VDC 10W

四、 工作原理

A、元器件的氦气加压细检

1.基本原理

首先将元器件放在能加压的密封容器中，用氦气对元器件加压一定时间。如果元器件有漏，氦气则被压入内腔。然后将被检元器件取出，放入氦质谱检漏仪的检漏盒，作抽真空检漏，若元器件有漏，则进入其内腔的氦气会逸出进入检漏仪，检漏仪将显示漏率。

2.检漏程序

1) 加氦压：将被检件放置在压力容器中，预先对容器抽真空，再将纯度大于95%的氦气加进压力容器，加压的压力与加压时间按标准规定，一般压力为2～7个大气压，时间为2～10小时，加压完毕要缓慢地使容器卸压，并将元器件从压力容器中取出。