低功耗液晶数显手持式皮拉尼真空计

使用说明书

(7#干电池供电，无火花电源开关)

(＜5毫秒快速相应时间)

（进口POSIFA公司固体铂薄膜电阻传感器）

（传感器长寿命、低功耗＜5毫瓦）

（低温冷槽车等易燃易爆环境）

测量范围: 3000—0.1Pa

(30—0.001mbar; 30—0.001Torr)

一、前言、

本仪器低电压小电流工作，适用于低温冷槽车和工业气体设备、药厂粉尘车间等易燃易爆环境真空测试。

本仪器应用真空中热传导与真空度有关的原理测量真空。采用美国Posifa公司MEMS皮拉尼真空传感器（铂薄膜）封装制造，该测量元件是由一个置于一张隔热膜上的铂薄膜电阻构成。隔热膜悬覆在一个微加工的25微米深空腔上，空腔底部表面与隔热膜平行，以确保精密测量传热率。由于被测气体体积小（即空腔容积小），Posifa传感器能够提供低的功耗和快速的响应时间。Posifa传感器还提供了一个与测量电阻具有相同电阻温度系数（TCR）的基准电阻，布置在传感器芯片基板上。线路设计利用它来进行环境温度补偿。仪表的数据采集选用16位高速电路及高稳定微处理机监控新型线路，在分析仪器、半导体设备、机械泵测试、真空冶炼、真空浸渍、空调冰箱生产线等工业和科研部门有广泛应用。

二、主要技术指标

1. 真空度测量范围: 3000—0.1Pa(30—0.001mbar; 30—0.001Torr)

2. 数字显示单位: Torr、Pa、mbar(符合、日本、美国、欧洲使用要求)

3.显示方式：5位液晶显示，直读式显示模式

4.工作电源: DC3V供电（4节AAA电池并联）功率0.2W

5.传感器功耗：5毫瓦

6.传感器工作电流：6mA

7.快速响应时间：＜5毫秒

8.环境温度：-40。C---125。C

9.湿度：0-RH

10.有15分钟自动关机功能。

11.传感器长期稳定，可用溶剂浸泡清洗，延长使用寿命

使用方法：

1、将真空传感器和需测量的真空腔连接（测量口尽量朝下或横装），按真空密封要求密封（别注意防止真空泵返油）。

2、用电缆连接真空传感器。

3、在仪表背部下端的电池盒中装入4节7#电池（4节电池是左边二节和右边二节并联组成3V电源）。

4、长按“ON”键3秒开启电源，仪表液晶屏上有读数显示。用户可按”UNIT”键Torr、Pa、mbarR显示单位。

5、开启真空泵抽真空，此时显示器上显示的是传感器测量的真空数据。

6、按“TEST”键可显示单节电池电压，当电压低于1V时请换新电池。仪器具有自动电池测试功能，当单节电池电压低于0.9V时，LED灯会闪烁提醒用户换电池。

7、测量完毕后按“OFF”键或长按“ON”键3秒关闭仪器。

注1：若要调整仪表的零点，可将真空传感器用扩散泵或分子泵抽至0.01Pa以上，用螺丝刀调后面板“V”零点电位器使液晶显示器恰好为0.05Pa,满度调整可将传感器置于大气压下，用螺丝刀调后面板“A”满度电位器，使液晶显示器恰好为99900Pa。(99999是过量程)。